半导体、TFT-为了避免工艺设备冷却盘管的结垢和堵塞，LCD等行业的工艺冷却水系统对工艺冷却水水质提出了要求。
　　以半导体厂工艺冷却水设计水质为例：电阻率＞30 kΩ? cm硬度＜0.5德国度因此，工艺冷却水管道的选择主要考虑两个方面，一方面是对水质的要求；另一方面，纯水设备需要管道腐蚀。
　　工艺冷却水管道主要有不锈钢管道和塑料管道。
　　(1)不锈钢管道
　　根据工艺冷却水的水质要求，SS304不锈钢管可满足要求，但半导体和TFT行业通常采用纯水制备过程中产生的反渗透（RO）出水作为工艺冷却水的补充水源，根据纯水制备工艺的不同，RO出水的pH值也不同。当水的pH值为中性或弱碱性时，可使用SS304不锈钢。当水的pH值为酸时（RO出水通常为酸，无碱），应使用耐酸性好的SS304L不锈钢。
　　根据不同工程的研究，不锈钢管道的腐蚀发生在接口和管道底部。分析其主要原因，接口腐蚀主要是由于焊接过程中氩弧焊造成的氧化层损伤，导致氧化层下的不锈钢金属铬合物腐蚀。管道底部腐蚀主要是由于管道冲洗自来水，自来水含有更多余氯，冲洗管道水未及时排空，导致局部管段集水，当管道施工验收系统长期未投入运行时，容易造成不锈钢氯腐蚀，不锈钢氯离子腐蚀为应力腐蚀，在“奥氏体不锈钢”中-CL溶液中氧的存在促进金属钝化，氯离子破坏金属钝化，进入裂缝尖端，形成盐酸，加剧腐蚀。
　　因此，在选择不锈钢管道时，应考虑一定的腐蚀余量。至少应选择壁厚等级为Sch-10S的产品，并采用正确的焊接方法。管道冲洗后，纯水设备应清空干燥管道内的水。
　　(2)塑料管
　　PVC管道可根据工艺冷却水的水质要求满足要求。常用的PVC有两种，硬质PVC（PVC-U）由聚乙烯单体聚合而成的热塑性聚合物化合物；氯化聚氯乙烯（PVC-C）聚氯乙烯树脂氯化得到的一种独特的聚合物。由于聚氯乙烯管道具有较强的耐腐蚀性，即使水质为弱酸、弱碱性，也不会引起管道腐蚀。
　　然而，塑料管道应注意工作压力。由于工艺设备中冷却管径小，水头损失大。因此，工艺冷却循环水系统的工作压力较高，管道的压力等级应根据应力计算确定。需要特别注意的是，管道的压力等级并不等于管道的设计
　　公式中:P是管道允许的工作压力（MPa）；
　　d为管道外径（mm）；
　　E为管道壁厚（mm）；
　　C为设计系数；
　　σ为管道应力（MPa）。
　　以PN16 PVC-以U管为例，管径110 mm×8.1 mm，管道应力15.5 MPa，设计系数2.5，液体温度40℃。
　　可见，虽然管道的压力等级为PN16，但该管道的允许工作压力为9.86 MPa。